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表面粗糙度中的单位rms含义

(rms)微粗糙度
表面粗糙度是影响表面的物理和化学性能的重要因素。研究表面粗糙度有重要的理论意义和应用价值。目前已民用工业许多种量化表示表面粗糙度的方法。最常用的是rms。但近年来发现许多表面的标度不变的复杂结构,rms粗糙度不能有效地描述这种特点。在非平衡态下生长的薄膜预期是一个自仿射分的表面,它的rms粗糙度δ随薄膜生长时间t和x,y基底的水平取样长度l有以下关系:δ(l,t)=lαf(t/lα/β)